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發(fā)布時(shí)間：2018-07-03 來源：元祿光電
ITO是一種透明導(dǎo)電氧化物，中文名叫氧化銦錫，具有良好的透明性和導(dǎo)電性。通常鍍在玻璃或者PET玻璃上作為導(dǎo)電金屬，常見應(yīng)用于觸摸屏和光伏行業(yè)中。
在LCD面板行業(yè)中ITO鍍層良好的透明性和導(dǎo)電性得到廣泛應(yīng)用，針對LCD行業(yè)中ITO的電路形成蝕刻本文列舉以下觀點(diǎn)：
ITO刻蝕的方式主要分為兩種一種是化學(xué)刻蝕法，一種為激光刻蝕法。
化學(xué)ITO刻蝕法的優(yōu)缺點(diǎn)：
優(yōu)點(diǎn)是加工的速度快，可一次性加工大面積范圍，效率極高。
缺點(diǎn)在于酸，堿性蝕刻液不符合環(huán)保的要求及不夠安全，廢液，氣排出后會對周邊環(huán)境造成污染；蝕刻線良品低；蝕刻液的濃度，溫度，作用于材料表面的壓力，浸泡時(shí)間會對襯底材料的導(dǎo)電ITO產(chǎn)生影響，而且不易控制；絲印油墨本身是化工原料，對人體會有不良的影響；添加的稀釋劑屬于易燃易爆物品，造成不安全隱患。
ITO激光刻蝕的特點(diǎn)：
產(chǎn)品良品高；激光蝕刻線工藝是通過控制激光的焦點(diǎn)位置直接作用于被清除ITO層上，對底部襯底材料不會造成影響；激光蝕刻線的線體細(xì)，易于電路的設(shè)計(jì)并可節(jié)省材料；激光蝕刻是通過光能將ITO層瞬間氣化，不需要別的輔助材料，不會對環(huán)境或是操作工人造成不良的影響；激光蝕刻線的參數(shù)全由電腦程序控制，減少人為的操作影響；對于傳統(tǒng)的蝕刻工藝，ITO激光蝕刻機(jī)，體積小，占地面積小，無污染，易于設(shè)備管理；
ITO激光刻蝕流程
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